Технология ЖК-дисплея - дисплей LTPS

Низкотемпературный поликристаллический кремний (НТПС) — это поликристаллический кремний, синтезированный при относительно низких температурах (~650 °С и ниже) по сравнению с традиционными методами (выше 900 °С). LTPS важен для индустрии дисплеев, поскольку использование больших стеклянных панелей предотвращает воздействие деформирующих высоких температур. В частности, использование поликристаллического кремния в тонкопленочных транзисторах (LTPS-TFT) имеет высокий потенциал для крупномасштабного производства электронных устройств, таких как плоские ЖК-дисплеи или датчики изображения.

Поликристаллический кремний (p-Si) представляет собой чистую и проводящую форму элемента, состоящую из множества кристаллитов или зерен высокоупорядоченной кристаллической решетки. В 1984 году исследования показали, что аморфный кремний (a-Si) является отличным предшественником для формирования пленок p-Si со стабильной структурой и низкой шероховатостью поверхности. Кремниевая пленка синтезируется методом химического осаждения из паровой фазы при низком давлении (LPCVD) для минимизации шероховатости поверхности. Сначала аморфный кремний осаждается при температуре 560–640 °С. Затем его термически отжигают (перекристаллизовывают) при температуре 950–1000 °С. Начиная с аморфной пленки, а не непосредственно осаждая кристаллы, можно получить продукт с превосходной структурой и желаемой гладкостью. В 1988 году исследователи обнаружили, что дальнейшее снижение температуры во время отжига в сочетании с усовершенствованным плазмохимическим осаждением из паровой фазы (PECVD) может способствовать еще более высокой степени проводимости. Эти методы оказали глубокое влияние на микроэлектронику, фотоэлектрическую промышленность и индустрию улучшения дисплеев.



LTPS необходим для:

1. Схемы на стекле – встроенные драйверы, сканеры и мультиплексор – сокращают использование внешних микросхем и разъемов для панели.

2. Гораздо меньший TFT ⇒ большая светосила – мобильные приложения

3. Гораздо более стабилен, чем a-Si, при сильноточной нагрузке (OLED требует тока для управления)